Liên kết quay chân không

Một khớp liên kết quay chân không là một thiết bị quan trọng được sử dụng để đạt được kết nối kín giữa một bộ phận đứng yên và phần quay trong hệ thống chân không. Nó có thể duy trì độ kín khí tốt trong môi trường chân không cao hoặc siêu cao, cho phép trục hoặc phôi xoay trong buồng chân không.
 

Thuận lợi

Hiệu suất niêm phong chân không cao
Khớp quay chân không áp dụng cấu trúc con dấu cơ học có độ chính xác cao và tốc độ rò rỉ niêm phong có thể được kiểm soát ở mức 1 × 10⁻⁹ pa · m³/s. So với tiêu chuẩn 1 × 10⁻⁷ PA · m³/s thường được sử dụng trong ngành, hiệu suất niêm phong của nó đã được cải thiện theo hai bậc độ lớn. Khả năng niêm phong này đảm bảo rằng khớp vẫn có thể hoạt động ổn định trong môi trường chân không từ 10⁻⁶ PA trở lên, giảm hiệu quả nguy cơ xâm nhập khí bên ngoài vào hệ thống, mở rộng chu kỳ vận hành thiết bị và giảm tần suất bảo trì.

Độ bền cơ học tốt
Khớp quay sử dụng vòng bi thép tốc độ cao bên trong, có khả năng chống mài mòn tốt. Trong điều kiện thí nghiệm, tuổi thọ hoạt động liên tục của loại ổ trục này có thể đạt 10.000 giờ, cao hơn gấp đôi so với vòng bi thông thường. Ảnh hưởng của mất ma sát được xem xét đầy đủ trong thiết kế sản phẩm. Bằng cách tối ưu hóa bề mặt tiếp xúc và cấu trúc bôi trơn, nó vẫn có thể duy trì hoạt động ổn định với tốc độ 1.500 vòng / phút, phù hợp cho môi trường làm việc tải cao liên tục.

Kiểm soát mở rộng nhiệt hợp lý
Phần tử niêm phong sử dụng các vật liệu có hệ số giãn nở nhiệt dưới 5 × 10⁻⁶ / độ và tốc độ biến dạng cấu trúc nhỏ trong môi trường với sự thay đổi nhiệt độ mạnh mẽ. Tính năng này đảm bảo rằng trạng thái niêm phong không dễ bị ảnh hưởng bởi ứng suất nhiệt trong phạm vi nhiệt độ hoạt động từ -40 độ đến +150, do đó đảm bảo độ ổn định dài hạn của kết nối niêm phong. Hiệu suất này đặc biệt quan trọng đối với các thiết bị cần được sử dụng trong các hệ thống chân không nóng và lạnh và nhiệt độ cao.

Một loạt các ứng dụng
Khớp quay có thể hoạt động ổn định trong phạm vi áp suất trung bình từ áp suất âm không chân không đến áp suất dương 0,6 MPa, bao gồm nhiều nhu cầu ứng dụng công nghiệp. Các khu vực ứng dụng của nó bao gồm thiết bị bán dẫn, hệ thống lớp phủ chân không, dược phẩm sinh học, thiết bị thí nghiệm nghiên cứu khoa học, v.v. Trong khi đáp ứng việc cung cấp các sản phẩm tiêu chuẩn, nó cũng có thể cung cấp các giải pháp tùy chỉnh cho các kích thước, vật liệu và giao diện của người dùng theo môi trường sử dụng cụ thể của người dùng để tăng cường khả năng thích ứng thực tế.